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Large area diamond films growth in multi-filament chemical vapor deposition 期刊论文
Materials Science and Engineering B-Solid State Materials for Advanced Technology, 1999, 卷号: 57, 期号: 3, 页码: 255-258
作者:  J. Yu;  R. F. Huang;  L. S. Wen;  C. X. Shi
收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2012/04/14
Large Area  Diamond Films  Gas-centralizing Cavity  Microwave-plasma  Phase  Gas