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Study of the Characteristics of DC and ICP Hybrid Discharge Plasmas 期刊论文
PLASMA SCIENCE & TECHNOLOGY, 2015, 卷号: 17, 期号: 3, 页码: 191-195
作者:  Wang Zhan;  Gao Wei;  Zhang Peng;  Yan Huijie;  Ren Chunsheng
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HIGH-DENSITY  ICP  DC discharge  Langmuir probe  plasma characteristic