中文版 | English

在结果中检索

IMR OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
PECVD裂解SiCl4低温快速沉积氢化纳米晶硅薄膜的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
作者:  张林
收藏  |  浏览/下载：126/0  |  提交时间：2013/04/12
等离子体增强化学气相沉积法  氢化纳米硅薄膜  微观结构  Pecvd  Nc-si:h Film  Microstructure