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中频孪生靶非平衡磁控溅射纳米硅薄膜的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
作者:  高俊华
收藏  |  浏览/下载：109/0  |  提交时间：2013/04/12
中频孪生靶  非平衡磁控溅射  纳米硅薄膜  磁镜场  Middle Frequency Dual-target  Unbalanced Magnetron Sputtering  Nc-si Film  Magnetic Mirror Field  
PECVD裂解SiCl4低温快速沉积氢化纳米晶硅薄膜的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
作者:  张林
收藏  |  浏览/下载：131/0  |  提交时间：2013/04/12
等离子体增强化学气相沉积法  氢化纳米硅薄膜  微观结构  Pecvd  Nc-si:h Film  Microstructure