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Synthesis of titanium nitride thin films deposited by a new shielded arc ion plating 期刊论文
Applied Surface Science, 2011, 卷号: 257, 期号: 13, 页码: 5694-5697
作者:  Y. H. Zhao;  G. Q. Lin;  J. Q. Xiao;  W. C. Lang;  C. A. Dong;  J. Gong;  C. Sun
Adobe PDF(450Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：109/0  |  提交时间：2012/04/13
Shielded Arc Ion Plating  Tin  Thin Films  Deposition Rate  Droplet  Particles  Adhesion  Cathodic Arc  Reactive Vacuum