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Substrate bias effect on structure of tetrahedral amorphous carbon films by Raman spectroscopy 期刊论文
Diamond and Related Materials, 2007, 卷号: 16, 期号: 9, 页码: 1746-1751
作者:  F. X. Liu;  K. L. Yao;  Z. L. Liu
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Ta-c Films  Substrate Bias  Sp(3) Content  Raman Spectroscopy  Mixing  Bonds  Diamond-like Carbon  Chemical-vapor-deposition  Cathodic Vacuum-arc  Tribological Properties  Dlc Films  Mechanical-properties  Thin-films  Nitride  Ultraviolet  Coatings