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N掺杂对磁控溅射Ta涂层微观结构与耐磨损性能的影响 期刊论文
金属学报, 2019, 卷号: 55, 期号: 03, 页码: 308-316
作者:  杨莎莎;  杨峰;  陈明辉;  牛云松;  朱圣龙;  王福会
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Ta涂层  磁控溅射  N掺杂  磨损