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双层TiO_xN_y光谱选择性吸收薄膜特性的研究 期刊论文
真空科学与技术学报, 2008, 期号: 5, 页码: 450-453
作者:  王贺权;  王志坚;  巴德纯;  沈辉;  陈达;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：98/0  |  提交时间：2012/04/12
直流反应磁控溅射  Tioxny  选择性吸收薄膜  反射率