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Analysis on the process of ZAO films by DC magnetron reactive sputtering 期刊论文
Science China-Technological Sciences, 2011, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 28-32
作者:  F. Lu;  C. H. Xu;  L. S. Wen
Adobe PDF(583Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2012/04/13
Zao Film  Resistivity  Transmissivity  Zno  Temperature