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The microstructure and optical properties of SiNx deposited by linear microwave chemical vapor deposition 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2015, 卷号: 64, 期号: 6
作者:  Zhang Jian;  Ba DeChun;  Zhao ChongLing;  Liu Kun;  Du GuangYu
收藏  |  浏览/下载：116/0  |  提交时间：2021/02/02
SILICON-NITRIDE FILMS  THIN-FILMS  PLASMA  PHOTOLUMINESCENCE  TEMPERATURE  SiNx thin film  linear microwave chemical vapor deposition  refractivity  deposition rate  
The microstructure and optical properties of SiNx deposited by linear microwave chemical vapor deposition 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2015, 卷号: 64, 期号: 6
作者:  Zhang Jian;  Ba DeChun;  Zhao ChongLing;  Liu Kun;  Du GuangYu
收藏  |  浏览/下载：114/0  |  提交时间：2021/02/02
SILICON-NITRIDE FILMS  THIN-FILMS  PLASMA  PHOTOLUMINESCENCE  TEMPERATURE  SiNx thin film  linear microwave chemical vapor deposition  refractivity  deposition rate