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Numerical analysis of spacial field in hot filament chemical vapor deposition diamond film 期刊论文
ACTA METALLURGICA SINICA, 2005, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 437-443
作者:  Li, JG;  Liu, S;  Li, YY;  Hu, DP;  Ji, XL;  Mei, J;  Zhou, D
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HFCVD  coupled model  spacial field  simulation