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准分子激光引起的非晶硅薄膜晶化行为的研究 期刊论文
真空, 2009, 期号: 4, 页码: 5-8
Authors:  崔连武;  程华;  吴敢;  黄荣芳;  闻火;  闻立时
Favorite  |  View/Download:152/0  |  Submit date:2012/04/12
准分子激光  非晶硅薄膜  激光能量密度  结晶度