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偏压对直流磁控溅射制备的AlB2-type WB2薄膜结构和性能的影响 会议论文
, 中国湖北武汉, 2014
Authors:  刘艳明;  蒋春磊;  裴志亮;  雷浩;  宫骏;  孙超
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Alb2-type Wb2薄膜  直流磁控溅射  硬度  摩擦磨损  结合力  
外加电磁直流磁控溅射法低温沉积ZnO:Al薄膜的研究 会议论文
2006北京国际材料周暨中国材料研讨会, 北京, 2006-09
Authors:  张小波;  裴志亮;  肖金泉;  宫骏;  孙超
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透明导电薄膜  直流磁控溅射法  电磁线圈  低温沉积  电阻率  
直流反应溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜 会议论文
《真空科学与技术》/Vol.22 2002增刊, 北京, 2001-10-16
Authors:  陆峰;  徐成海;  裴志亮;  闻立时
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导电薄膜  磁控溅射法  制备方法  光学性能