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三靶共溅射纳米复合Cr-Al-Si-N涂层的制备及摩擦学性能研究 期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 48, 期号: 09, 页码: 78-86
Authors:  王铁钢;  蒙德强;  李柏松;  赵彦辉;  刘艳梅;  姜肃猛
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高功率脉冲磁控溅射  脉冲直流磁控溅射  三靶共溅射  纳米复合涂层  Cr-Al-Si-N涂层  N2/Ar流量比  临界载荷  摩擦系数  磨损率  
电弧离子镀氮化铬涂层的沉积工艺研究 会议论文
功能材料, 敦煌, 2006-07-24
Authors:  李明升;  冯长杰;  王福会
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电弧离子镀  氮化铬  N2分压  双极脉冲偏压