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溅射沉积Mg_2(Sn,Si)薄膜组织结构与导电性能 期刊论文
金属学报, 2019, 卷号: 55, 期号: 11, 页码: 1469-1476
Authors:  宋贵宏;  李贵鹏;  刘倩男;  杜昊;  胡方
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Mg2(Sn,Si)薄膜  Mg含量  电导率  迁移率  XPS