IMR OpenIR

Browse/Search Results:  1-2 of 2 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
一种高功率大面积偏压微波等离子体金刚石薄膜沉积装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201621057920.8, 申请日期: 2017-04-19,
Authors:  姜辛;  刘鲁生;  黄楠;  杨兵;  翟超峰;  李俊豪;  贾心怡
Favorite  |  View/Download:1/0  |  Submit date:2020/01/13
一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201620932071.X, 申请日期: 2017-02-15,
Authors:  姜辛;  刘鲁生;  黄楠;  杨兵;  翟超峰;  李俊豪;  贾心怡
Favorite  |  View/Download:1/0  |  Submit date:2020/01/13