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轴向磁场对电弧离子镀TiN/Cu薄膜性能的影响 期刊论文
材料研究学报, 2018, 卷号: 32, 期号: 05, 页码: 381-387
Authors:  赵升升;  赵彦辉;  陈伟;  费加喜;  王铁钢
Favorite  |  View/Download:15/0  |  Submit date:2018/12/25
TiN/Cu薄膜  轴向磁场  电弧离子镀  硬度  耐磨性