| 大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织 |
| 冯钟潮; 郭良; 梁勇; 韩健; 侯万良; 宁小光
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| 1992
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| 发表期刊 | 金属学报
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| ISSN | 0412-1961
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| 卷号 | 28.0期号:008页码:B351-B355 |
| 关键词 | Si3N4膜
组织结构
硬度
耐磨
LCVD
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| 收录类别 | CSCD
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| 语种 | 中文
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| CSCD记录号 | CSCD:937076
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| 引用统计 |
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/143874
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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| 作者单位 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
冯钟潮,郭良,梁勇,等. 大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织[J]. 金属学报,1992,28.0(008):B351-B355.
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| APA |
冯钟潮,郭良,梁勇,韩健,侯万良,&宁小光.(1992).大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织.金属学报,28.0(008),B351-B355.
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| MLA |
冯钟潮,et al."大功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜的性能和组织".金属学报 28.0.008(1992):B351-B355.
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