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透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性
孙超; 陈猛; 裴志亮; 曹鸿涛; 黄荣芳; 闻立时
2002
Source Publication材料研究学报
ISSN1005-3093
Volume16.0Issue:002Pages:113-120
AbstractZnO:Al(ZAO)是一种简单并半导体氧化物薄膜材料,具有高的载流子浓度和光学禁带宽度,因而具有优异的电学和光学性能,极具应用价值,对于其能级高度简并的ZAO半导体薄膜材料,在较低的温度下,离化杂质散射占主导地位,在较高的温度下,晶格振动散射将成为主要的散射机制;晶界散射仅当晶粒尺寸较小(与电子的平均自由程相当)时才起作用,本文分析了ZAO薄膜的制备方法,晶体结构特性,电子和光学性能以及载流子的散射机制。
Keyword组织结构 透明导电氧化物 简并半导体 ZAO薄膜 散射机制 光学性质 氧化锌 氧化铝 电学性质
Indexed ByCSCD
Language中文
CSCD IDCSCD:961173
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.imr.ac.cn/handle/321006/143943
Collection中国科学院金属研究所
Affiliation中国科学院金属研究所
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GB/T 7714
孙超,陈猛,裴志亮,等. 透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性[J]. 材料研究学报,2002,16.0(002):113-120.
APA 孙超,陈猛,裴志亮,曹鸿涛,黄荣芳,&闻立时.(2002).透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性.材料研究学报,16.0(002),113-120.
MLA 孙超,et al."透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性".材料研究学报 16.0.002(2002):113-120.
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