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磁控溅射Fe—N薄膜的微结构研究
詹倩; 贺连龙; 李斗星
2002
发表期刊电子显微学报
ISSN1000-6281
卷号21.0期号:005页码:645-646
关键词磁控溅射 Fe-N薄膜 微结构 磁学性能 晶粒尺寸 厚度 透射电镜 磁头
收录类别CSCD
语种中文
CSCD记录号CSCD:980962
引用统计
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/147468
专题中国科学院金属研究所
作者单位中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
詹倩,贺连龙,李斗星. 磁控溅射Fe—N薄膜的微结构研究[J]. 电子显微学报,2002,21.0(005):645-646.
APA 詹倩,贺连龙,&李斗星.(2002).磁控溅射Fe—N薄膜的微结构研究.电子显微学报,21.0(005),645-646.
MLA 詹倩,et al."磁控溅射Fe—N薄膜的微结构研究".电子显微学报 21.0.005(2002):645-646.
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