Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术 | |
武颖娜; 梁勇; 冯钟潮 | |
2000 | |
Source Publication | 激光杂志
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ISSN | 0253-2743 |
Volume | 21.0Issue:005Pages:43-44 |
Abstract | 本文研究了通过XeCl准分子激光照射Al2O3陶瓷表面后,使其表面沉积金属Cu的技术,实验结果表明,Al2O3试样浸入Cu2SO4溶液后,金属Cu膜只沉积于激光照射区。经准分子激光照射,Al2O3表面结构的变化和Al富集区的产生是金属Cu沉积的主要原因。 |
Keyword | 准分子激光 铜膜 陶瓷 氧化铝 表面 活化沉积 |
Indexed By | CSCD |
Language | 中文 |
CSCD ID | CSCD:658862 |
Citation statistics |
Cited Times:1[CSCD]
[CSCD Record]
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Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/154789 |
Collection | 中国科学院金属研究所 |
Affiliation | 中国科学院金属研究所 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 武颖娜,梁勇,冯钟潮. Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术[J]. 激光杂志,2000,21.0(005):43-44. |
APA | 武颖娜,梁勇,&冯钟潮.(2000).Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术.激光杂志,21.0(005),43-44. |
MLA | 武颖娜,et al."Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术".激光杂志 21.0.005(2000):43-44. |
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