| Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术 | |
| 武颖娜; 梁勇; 冯钟潮 | |
| 2000 | |
| 发表期刊 | 激光杂志
 |
| ISSN | 0253-2743 |
| 卷号 | 21.0期号:005页码:43-44 |
| 摘要 | 本文研究了通过ＸｅＣｌ准分子激光照射Ａｌ２Ｏ３陶瓷表面后，使其表面沉积金属Ｃｕ的技术，实验结果表明，Ａｌ２Ｏ３试样浸入Ｃｕ２ＳＯ４溶液后，金属Ｃｕ膜只沉积于激光照射区。经准分子激光照射，Ａｌ２Ｏ３表面结构的变化和Ａｌ富集区的产生是金属Ｃｕ沉积的主要原因。 |
| 关键词 | 准分子激光 铜膜 陶瓷 氧化铝 表面 活化沉积 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:658862 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/154789 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 武颖娜,梁勇,冯钟潮. Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术[J]. 激光杂志,2000,21.0(005):43-44. |
| APA | 武颖娜,梁勇,&冯钟潮.(2000).Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术.激光杂志,21.0(005),43-44. |
| MLA | 武颖娜,et al."Al2O3陶瓷表面的准分子激光活化沉积金属Cu技术".激光杂志 21.0.005(2000):43-44. |
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