| Ti／TiN多层膜显微结构的研究 | |
| 黄荣芳; 郭丽萍; 宫骏; 于宝海; 闻立时 | |
| 1992 | |
| 发表期刊 | 硅酸盐学报
 |
| ISSN | 0454-5648 |
| 卷号 | 20.0期号:005页码:404-409 |
| 关键词 | 钛 氮化钛 膜 晶粒 显微构造 |
| 收录类别 | CSCD |
| 语种 | 中文 |
| CSCD记录号 | CSCD:176179 |
| 引用统计 | |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/156785 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 作者单位 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 黄荣芳,郭丽萍,宫骏,等. Ti／TiN多层膜显微结构的研究[J]. 硅酸盐学报,1992,20.0(005):404-409. |
| APA | 黄荣芳,郭丽萍,宫骏,于宝海,&闻立时.(1992).Ti／TiN多层膜显微结构的研究.硅酸盐学报,20.0(005),404-409. |
| MLA | 黄荣芳,et al."Ti／TiN多层膜显微结构的研究".硅酸盐学报 20.0.005(1992):404-409. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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