| Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银 |
| 孙克,赵岩,张彩碚,李正林
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| 2002-04-30
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| 发表期刊 | 东北大学学报
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| 期号 | 4页码:391-393 |
| 摘要 | Nd :YAG脉冲激光扫描照射单晶Si基底表面AgNO3 薄膜 ,薄膜热分解产生的Ag沉积在Si基底表面形成沉积线? 在激光功率为 2 8W ,频率为 35Hz时 ,最高扫描速度为 9mm/s?SEM显示Ag颗粒均匀镶嵌在基底沉积线表面 ,AES研究沉积线表面元素随深度分布情况?以Ag颗粒为催化中心 ,在沉积线表面选区化学镀铜 ,超声振动显示镀铜膜与基底有良好的结合力? 简单分析了沉积线表面Ag颗粒形状及表面凹坑出现的原因 |
| 部门归属 | 东北大学理学院,中国科学院金属研究所,东北大学理学院,中国科学院金属研究所 辽宁沈阳110004,辽宁沈阳110016,辽宁沈阳110004,辽宁沈阳110016
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| 关键词 | Nd:Yag脉冲激光
激光诱导化学沉积
选区化学镀
Si基底
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/26550
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
孙克,赵岩,张彩碚,李正林. Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银[J]. 东北大学学报,2002(4):391-393.
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| APA |
孙克,赵岩,张彩碚,李正林.(2002).Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银.东北大学学报(4),391-393.
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| MLA |
孙克,赵岩,张彩碚,李正林."Nd:YAG脉冲激光诱导化学沉积银".东北大学学报 .4(2002):391-393.
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