| 纳米Ti膜形成过程的扫描隧道显微镜观察 |
| 谢天生,杜昊,孟祥敏,孙超,闻立时
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| 2001-02-28
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| 发表期刊 | 金属学报
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| 期号 | 2页码:113-117 |
| 摘要 | 用磁控溅射方法在聚合物薄膜基体上制备出不同厚度的纳米 Ｔｉ膜．扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）的观察结果表明，初期膜是由直径小于２ｎｍ的形核粒子和粒子团聚体组成．粒子沉积呈岛状生长形成纳米晶粒结构随薄膜厚度增加，平均晶粒尺寸增加，形成大尺寸晶粒的连续薄膜.分析和讨论了薄膜生长过程的结构特征及溅射条件对薄膜结构的影响． |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室!沈阳110016,中国科学院金属研究所!沈阳110016,中国科学院金属研究所固体原子像开放研究实验室!沈阳110016,中国科学院金属研究所!沈阳110016,中国科学院金属研究所!沈阳110016
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| 关键词 | 磁控溅射
纳米ti膜
扫描隧道显微镜(Stm)
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27040
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
谢天生,杜昊,孟祥敏,孙超,闻立时. 纳米Ti膜形成过程的扫描隧道显微镜观察[J]. 金属学报,2001(2):113-117.
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| APA |
谢天生,杜昊,孟祥敏,孙超,闻立时.(2001).纳米Ti膜形成过程的扫描隧道显微镜观察.金属学报(2),113-117.
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| MLA |
谢天生,杜昊,孟祥敏,孙超,闻立时."纳米Ti膜形成过程的扫描隧道显微镜观察".金属学报 .2(2001):113-117.
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