| 超薄金属膜电阻率尺寸效应 | |
| 唐兆磷,黄荣芳,闻立时 | |
| 1997-08-25 | |
| Source Publication | 材料研究学报
 |
| Issue | 4Pages:438-440 |
| Abstract | 研究了超薄铝膜的厚度与电阻率晶粒度之间的关系结果表明：随薄膜平均厚度减小，晶粒度减小，电阻率增大，呈现尺寸效应.综合利用F－S模型，M－S模型以及Matthiessen定则定量分析了表面和晶界的电子散射对电阻车尺寸效应的贡献. |
| description.department | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所 |
| Keyword | 超薄膜 电阻率 尺寸效应 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27825 |
| Collection | 中国科学院金属研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 唐兆磷,黄荣芳,闻立时. 超薄金属膜电阻率尺寸效应[J]. 材料研究学报,1997(4):438-440. |
| APA | 唐兆磷,黄荣芳,闻立时.(1997).超薄金属膜电阻率尺寸效应.材料研究学报(4),438-440. |
| MLA | 唐兆磷,黄荣芳,闻立时."超薄金属膜电阻率尺寸效应".材料研究学报 .4(1997):438-440. |
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