| 超薄金属膜电阻率尺寸效应 |
| 唐兆磷,黄荣芳,闻立时
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| 1997-08-25
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| 发表期刊 | 材料研究学报
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| 期号 | 4页码:438-440 |
| 摘要 | 研究了超薄铝膜的厚度与电阻率晶粒度之间的关系结果表明：随薄膜平均厚度减小，晶粒度减小，电阻率增大，呈现尺寸效应.综合利用F－S模型，M－S模型以及Matthiessen定则定量分析了表面和晶界的电子散射对电阻车尺寸效应的贡献. |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
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| 关键词 | 超薄膜
电阻率
尺寸效应
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27825
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
唐兆磷,黄荣芳,闻立时. 超薄金属膜电阻率尺寸效应[J]. 材料研究学报,1997(4):438-440.
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| APA |
唐兆磷,黄荣芳,闻立时.(1997).超薄金属膜电阻率尺寸效应.材料研究学报(4),438-440.
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| MLA |
唐兆磷,黄荣芳,闻立时."超薄金属膜电阻率尺寸效应".材料研究学报 .4(1997):438-440.
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