| 激光低温沉积金刚石膜 | |
| 冯钟潮,张炳春,赵岩,王亚庆 | |
| 1996-10-25 | |
| 发表期刊 | 材料研究学报
 |
| 期号 | 5页码:521-524 |
| 摘要 | 用ＸｅＣｌ紫外与ＣＯ２红外复合激光化学气相沉积方法，在３４０℃硅衬底上沉积成高纯金刚石膜。 |
| 部门归属 | 中国科学院金属研究所 |
| 关键词 | 金刚石 激光 化学气相沉积 低温 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/27958 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯钟潮,张炳春,赵岩,王亚庆. 激光低温沉积金刚石膜[J]. 材料研究学报,1996(5):521-524. |
| APA | 冯钟潮,张炳春,赵岩,王亚庆.(1996).激光低温沉积金刚石膜.材料研究学报(5),521-524. |
| MLA | 冯钟潮,张炳春,赵岩,王亚庆."激光低温沉积金刚石膜".材料研究学报 .5(1996):521-524. |
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