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Ti-B-N薄膜结构与性能的初步研究
闻立时,陈秀芝,杨巧勤,郑玉芹,庄育智
1987-03-02
发表期刊真空科学与技术
期号1页码:31-34
摘要用离子镀在W18Cr4V高速钢基材上制备了低硼含量的Ti-B-N薄膜。膜层厚度为2~5.5μm,显微硬度平均值为4200kg/mm~2(15g载荷),膜-基界面结合强度大于120kg/mm~2,对金刚石表面的摩擦系数为0.086~0.14(1000g载荷)。X射线与电子衍射表明:膜层主要由TiN(面心立方)、TiB(简单正交)、Ti-B-N(简单六方)三相组成,其中TiN含量最高,膜层表现出择优取向。用扫描电镜与透射电镜观察了膜层的表面与界面显微形貌,用离子探针分析了膜层的化学组成及其深度分布。
部门归属中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所,中国科学院金属研究所
关键词界面结合强度:5195 摩擦系数:4080 膜层厚度:3753 金刚石表面:3664 显微形貌:2887 化学组成:2882 综合性能:1842 优良性能:1837 膜结构与性能:1726 透射电子显微镜:1561
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/29515
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
闻立时,陈秀芝,杨巧勤,郑玉芹,庄育智. Ti-B-N薄膜结构与性能的初步研究[J]. 真空科学与技术,1987(1):31-34.
APA 闻立时,陈秀芝,杨巧勤,郑玉芹,庄育智.(1987).Ti-B-N薄膜结构与性能的初步研究.真空科学与技术(1),31-34.
MLA 闻立时,陈秀芝,杨巧勤,郑玉芹,庄育智."Ti-B-N薄膜结构与性能的初步研究".真空科学与技术 .1(1987):31-34.
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