| 喷墨打印制备二氧化锡基薄膜型气敏器件的方法 |
| 赵岩, 沈文锋 and 郝传勇
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| 2006-03-15
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| 专利权人 | 中国科学院金属研究所
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| 公开日期 | 2006-03-15
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明专利
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| 摘要 | 本发明涉及一种利用喷墨打印技术制造以二氧化锡为基薄膜型气敏器件的方 法,属于金属氧化物半导体传感器气敏元件制造工艺技术领域。该方法包括以下 几个步骤：(1)制备不同掺杂物质的SnO2基前驱溶液墨水；(2)进行打印镀 膜,制得各种不同掺杂的SnO2基薄膜；(3)进行烧结热处理,得到不同掺杂的 SnO2基薄膜型气敏元件；(4)将制得的SnO2气敏元件装入气敏检测仪,检测对 乙醇、H2S、H2、丙酮等多种易燃易爆、有毒有害气体的灵... |
| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 公开
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| 申请号 | CN1747194
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/66265
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| 专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
赵岩, 沈文锋 and 郝传勇. 喷墨打印制备二氧化锡基薄膜型气敏器件的方法[P]. 2006-03-15.
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