| 热解氮化硼气相沉积炉 | |
| 赵风鸣 | |
| 1993-06-16 | |
| Rights Holder | 中国科学院金属研究所 |
| Date Available | 1993-06-16 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 实用新型 |
| Abstract | 一种热解氮化硼气相沉积炉,其特征在于同心圆筒进气口的顶端加一顶盖,模具通过支持杆与炉体外部相通并能转动。使用本实用新型所提供的热解氮化硼气相沉积炉可以得到壁厚分布均匀的热解氮化硼制品。 |
| Language | 中文 |
| Status | 公开 |
| Application Number | CN2136445 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/66301 |
| Collection | 中国科学院金属研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 赵风鸣. 热解氮化硼气相沉积炉[P]. 1993-06-16. |
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