| 热解氮化硼气相沉积炉 | |
| 赵风鸣 | |
| 1993-06-16 | |
| 专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
| 公开日期 | 1993-06-16 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 摘要 | 一种热解氮化硼气相沉积炉,其特征在于同心圆筒进气口的顶端加一顶盖,模具通过支持杆与炉体外部相通并能转动。使用本实用新型所提供的热解氮化硼气相沉积炉可以得到壁厚分布均匀的热解氮化硼制品。 |
| 语种 | 中文 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | CN2136445 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/66301 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵风鸣. 热解氮化硼气相沉积炉[P]. 1993-06-16. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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