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微波加热激发低温等离子体方法
张劲松, 沈学逊, 杨永进 and 曹丽华
1995-09-20
专利权人中国科学院金属研究所
公开日期1995-09-20
授权国家中国
专利类型发明专利
摘要一种微波加热激发低温等离子体的方法,其特征在于工艺过程及参数如下:将由耐高温陶瓷制成的介质感热器放入微波加热系统中;馈入能量,使介质感热器温度在1000℃~2000℃之间;初始激励场强|E| 在102v/cm~3×104v/cm,使介质感热器内热态气体放电,形成等离子体。本发明可以使得微波激发的大体积等离子体能在常压,甚至是较高气压大流量的条件下实现。
语种中文
专利状态公开
申请号CN1108858
文献类型专利
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/66371
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张劲松, 沈学逊, 杨永进 and 曹丽华. 微波加热激发低温等离子体方法[P]. 1995-09-20.
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