微波加热激发低温等离子体方法 | |
张劲松, 沈学逊, 杨永进 and 曹丽华 | |
1995-09-20 | |
专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
公开日期 | 1995-09-20 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 一种微波加热激发低温等离子体的方法,其特征在于工艺过程及参数如下:将由耐高温陶瓷制成的介质感热器放入微波加热系统中;馈入能量,使介质感热器温度在1000℃~2000℃之间;初始激励场强|E| 在102v/cm~3×104v/cm,使介质感热器内热态气体放电,形成等离子体。本发明可以使得微波激发的大体积等离子体能在常压,甚至是较高气压大流量的条件下实现。 |
语种 | 中文 |
专利状态 | 公开 |
申请号 | CN1108858 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/66371 |
专题 | 中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张劲松, 沈学逊, 杨永进 and 曹丽华. 微波加热激发低温等离子体方法[P]. 1995-09-20. |
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