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一种透射电镜用薄膜样品的制备方法
于洪波, 刘实, 郑华, 马爱华, 王隆保 and 戎利建
2005-07-20
专利权人中国科学院金属研究所
公开日期2005-07-20
授权国家中国
专利类型发明专利
摘要本发明提供一种透射电镜用薄膜样品的制备方法,其特征在于:采用磁控溅射镀膜方法,镀膜的衬料是铜网。本发明提供的透射电镜用薄膜样品的制备方法的优点在于:简化了电镜薄膜样品的制备工艺,避免了薄膜电镜样品制备过程中引入一些假象的问题。
语种中文
专利状态公开
申请号CN1641067
文献类型专利
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67592
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
于洪波, 刘实, 郑华, 马爱华, 王隆保 and 戎利建. 一种透射电镜用薄膜样品的制备方法[P]. 2005-07-20.
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