有机硅烷激光气相合成硅基超细粉 | |
梁勇, 李亚利, 郑丰, 肖克沈 and 线全刚 | |
1996-01-24 | |
专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
公开日期 | 1996-01-24 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 一种激光气相合成硅基超细粉的方法,其特征在于:以有机硅烷为主体反应物,以氢和/或氨为附加反应气,在下述工艺条件下:激光功率密度(P):500~6000W/cm2,反应压力(Pe):0.2~1atm,反应总气流量(Φt):1200~6000cm3/min,反应时间(t):0.2~4ms,反应温度(T):600~1800℃,合成硅基超细粉。用该方法可大幅度降低成本,高质量地合成硅基超细粉。 |
语种 | 中文 |
专利状态 | 公开 |
申请号 | CN1115301 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/67959 |
专题 | 中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁勇, 李亚利, 郑丰, 肖克沈 and 线全刚. 有机硅烷激光气相合成硅基超细粉[P]. 1996-01-24. |
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