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制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉
赵凤鸣
1996-01-31
专利权人中国科学院金属研究所
公开日期1996-01-31
授权国家中国
专利类型实用新型
摘要本实用新型涉及用于制造热解氮化硼制品的化学气相沉积感应炉,属化学气相沉积技术领域。其特征是炉体内环绕感应线圈的石墨套筒发热体内中下部,设置的模具基体立于旋转底座上。本实用新型给出的是一种中频感应炉,基体在感应线圈中,本身在磁场作用下,产生涡流,发出热量,外加同心圆发热体,对它辐射热,所以升温速度快,基体受热较均匀。
语种中文
专利状态公开
申请号CN2218916
文献类型专利
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68001
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
赵凤鸣. 制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉[P]. 1996-01-31.
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