制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉 | |
赵凤鸣 | |
1996-01-31 | |
专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
公开日期 | 1996-01-31 |
授权国家 | 中国 |
专利类型 | 实用新型 |
摘要 | 本实用新型涉及用于制造热解氮化硼制品的化学气相沉积感应炉,属化学气相沉积技术领域。其特征是炉体内环绕感应线圈的石墨套筒发热体内中下部,设置的模具基体立于旋转底座上。本实用新型给出的是一种中频感应炉,基体在感应线圈中,本身在磁场作用下,产生涡流,发出热量,外加同心圆发热体,对它辐射热,所以升温速度快,基体受热较均匀。 |
语种 | 中文 |
专利状态 | 公开 |
申请号 | CN2218916 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68001 |
专题 | 中国科学院金属研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵凤鸣. 制备热解氮化硼坩埚制品的中频感应炉[P]. 1996-01-31. |
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