| 电子气瓶特殊处理技术及配件 |
| 中国科学院金属研究所
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| 1992
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关键词 | 气瓶配件
气瓶处理工艺
抗腐蚀
电子
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完成单位 | 中国科学院金属研究所;
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英文摘要 | 该成果包括:气瓶内涂氟树脂技术、工艺及装置,料液制备及性能参数控制,涂复、塑化及质量检测、中试线流程半自动化工艺设备等。新产品CL-Ⅰ型系列(0.7~40L)钢瓶内壁涂层光洁、无针孔、无泡疤,并且有优异耐蚀性、憎水性和化学惰性。经用17种电子气充气考核,纯度达一年稳定,SiH<,2>Cl<,2>含B、As、P杂质保持在0.3ppb级不变。该技术及装置经国际终端联机检索WPI、CA相关文献为零,其质量达到国际先进水平。抗蚀配件包括FQTYQ型调压器、KFGMF型隔膜阀、FQYLB型压力表的制造工艺技术,其产品耐强腐蚀,结构精密。经氦检漏,漏率≤2×10<′-10>scc/s。以上成果主要用于微电子及特气领域,已逐步代替进口产品。该成果全面推广后,每亿块大规模集成电呼可节约外汇百万美元。 |
语种 | 中文
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文献类型 | 成果
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条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68561
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专题 | 中国科学院金属研究所
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推荐引用方式 GB/T 7714 |
中国科学院金属研究所. 电子气瓶特殊处理技术及配件. 1992.
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