| 喷墨打印制备二氧化锡基薄膜型气敏器件的方法 | |
| 中国科学院金属研究所 | |
| 2008 | |
| Keyword | 气敏器件 二氧化锡基薄膜 喷墨打印 |
| description.department | 中国科学院金属研究所; |
| Abstract | 本发明涉及一种利用喷墨打印技术制造以二氧化锡为基薄膜型气敏器件的方法，属于金属氧化物半导体传感器气敏元件制造工艺技术领域。该方法包括以下几个步骤：(1)制备不同掺杂物质的SnO_2基前驱溶液墨水；(2)进行打印镀膜，制得各种不同掺杂的SnO_2基薄膜；(3)进行烧结热处理，得到不同掺杂的SnO_2基薄膜型气敏元件；(4)将制得的SnO_2气敏元件装入气敏检测仪，检测对乙醇、H_2S、H_2、丙酮等多种易燃易爆、有毒有害气体的灵敏度。本发明利用喷墨打印技术简单易操作控制的特点，可方便快速的成型多种不同掺杂成分、不同厚度的SnO_2基薄膜气敏元件，避免了用常规的化学或物理气相沉积成膜所需要的复杂工艺或昂贵设备。200410050389.7 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 成果 |
| Identifier | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/68882 |
| Collection | 中国科学院金属研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 中国科学院金属研究所. 喷墨打印制备二氧化锡基薄膜型气敏器件的方法. 2008. |
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