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IMR OpenIR  > 中国科学院金属研究所  > 会议论文

题名: 电弧离子镀沉积Al-O-N高温扩散阻挡层的研究
作者: 王启民;  武颖娜;  柯培玲;  孙超;  黄荣芳;  闻立时
出版日期: 2003-9-1
会议日期: 2003-09-01
摘要: 采用电弧离子镀技术在DSM11合金与NiCoCrAlY涂层间沉积Al-O-N高温扩散阻挡层薄膜,研究了不同O<,2>、N<,2>流量对Al-O-N薄膜相结构的影响及高温下Al-O-N薄膜阻挡合金元素互扩散的行为.实验结果表明,电弧离子膜法沉积的Al-O-N薄膜为多晶膜,具有α-Al<,2>O<,3>+六方AlN的相结构,随着N<,2>的增加,AlN相的含量增加.在1050℃下氧化100h后,Al-O-N层能有效阻挡DSM11合金中的Ti元素向外扩散,扩散阻挡层对涂层的氧化动力学影响不大.
会议名称: 第十届全国高温合金年会
会议文集: 钢铁研究学报2003第7期
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王启民,武颖娜,柯培玲,等. 电弧离子镀沉积al-o-n高温扩散阻挡层的研究[C]. 钢铁研究学报2003第7期.北京.《钢铁研究学报》编辑部.2003.
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