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题名: 采用TMAH腐蚀液形成硅杯的研究
作者: 沈桂芬;  姚朋军;  丁德宏;  付世;  张宏庆;  范军;  王振波
出版日期: 2003-9-1
会议日期: 2003-09-01
摘要: TMAH是一种新型的、性能优异的各向异性腐蚀液.本文通过大量对比实验对TMAH腐蚀液用于<100>、<111>单晶Si片不同电阻率、不同晶向的样品研究了粗糙度和腐蚀速率,得出重要结论.此研究对正确使用TMAH腐蚀液有重要指导意义.
会议名称: 第八届敏感元件与传感器学术会议
KOS主题词: roughness
会议文集: 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集
Appears in Collections:中国科学院金属研究所_会议论文

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沈桂芬,姚朋军,丁德宏,等. 采用tmah腐蚀液形成硅杯的研究[C]. 第八届敏感元件与传感器学术会议论文集.北京.中国仪器仪表学会.2003.
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