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SrIn<,0.1>Ti<,0.9>O<,3>/SrNb<,0.2>Ti<,0.8>O<,3>双层膜的微结构研究
张明; 马秀良; 李斗星
2004-08-20
会议名称第十三届全国电子显微学会议
会议录名称电子显微学报/2004.4
会议日期2004-08-20
会议地点威海
出版地北京
出版者《电子显微学报》编辑部
摘要具有钙钛矿结构的金属氧化物多层膜比单层膜具有更良好的电学或光学性能,实际应用价值更大.在SrTiO<,3>(STO)基体的(001)晶面上,用由计算机控制的激光分子束外延方法生长了SrIn<,0.1>Ti<,0.9>O<,3>/SrNb<,0.2>Ti<,0.8>O<,3>(SITO/SNTO)双层氧化物薄膜.横截面电镜样品是用常规方法制备的.采用JEM 2010高分辨电子显微镜对样品进行微结构的研究,工作电压为200kV,点分辨率为0.194nm.
部门归属中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室(辽宁沈阳)
关键词微结构 金属氧化物多层膜 分子束外延 电子显微镜
主办者中国物理学会
语种中文
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/70228
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张明,马秀良,李斗星. SrIn<,0.1>Ti<,0.9>O<,3>/SrNb<,0.2>Ti<,0.8>O<,3>双层膜的微结构研究[C]. 北京:《电子显微学报》编辑部,2004.
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