温度对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响

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	温度对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响
	王贺权; 沈辉; 巴德纯; 汪保卫; 闻立时
	2005-07-14
会议名称	2005全国真空冶金与表面工程学术会议
会议录名称	2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集
会议日期	2005-07-14
会议地点	沈阳
摘要	本文应用DC(直流)反应磁控溅射设备在硅基底上制备TiO2薄膜,在固定的电源功率下,过控制温度改变TiO2薄膜的光学性质，应用n&kAnalyzer1200测量,温度增加时薄膜的平均反射率降低同时反射低谷向长波方向移动，通过XRD和SEM表征发现,随着温度的增加TiO2的体结构由混晶变为单一的锐钛矿相,薄膜的表面的颗粒由多变少,表面形貌由粗糙多孔变得细腻平滑。
部门归属	东北大学,沈阳,110004;沈阳农业大学,沈阳,110161;中山大学,广州,510275;东北大学,沈阳,110004;中国科学院广州能源研究所,广州,510070;中国科学院金属研究所,沈阳,110016;
关键词	二氧化钛薄膜直流反应磁控溅射温度反射率光学性质
主办者	中国真空学会
语种	中文
文献类型	会议论文
条目标识符	http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/70331
专题	中国科学院金属研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王贺权,沈辉,巴德纯,等. 温度对直流反应磁控溅射制备TiO2薄膜的光学性质的影响[C],2005.