| 氮化铝薄膜发光性能的研究进展 | |
| 佟洪波; 巴德纯; 肖金泉; 闻立时 | |
| 2005-07-14 | |
| 会议名称 | 2005全国真空冶金与表面工程学术会议 |
| 会议录名称 | 2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集 |
| 会议日期 | 2005-07-14 |
| 会议地点 | 沈阳 |
| 摘要 | 本文介绍了AlN薄膜物理性质及制备方法；综述了AlN薄膜作为薄膜电致发光(TFEL)器件发光层的研究现状；对AlN薄膜的发光性能的应用前景做了展望。 |
| 部门归属 | 东北大学,辽宁,沈阳,110004;辽宁石油化工大学,辽宁,抚顺,113001;东北大学,辽宁,沈阳,110004;中国科学院金属研究所,辽宁,沈阳,110016; |
| 关键词 | 薄膜 氮化铝 电致发光 发光性能 |
| 主办者 | 中国真空学会 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 会议论文 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/70343 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 佟洪波,巴德纯,肖金泉,等. 氮化铝薄膜发光性能的研究进展[C],2005. |
| 条目包含的文件 | 条目无相关文件。 | |||||
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