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IMR OpenIR  > 中国科学院金属研究所  > 会议论文

题名: 热解氮化硼
作者: 许力;  白朔;  吴峻峰;  成会明
出版日期: 2007-10
会议日期: 2007-10
摘要: 本文系统地介绍了热解氮化硼材料的制备工艺、结构表征、沉积机理和影响热解氮化硼制备的关键工艺参数,重点对BN的沉积机制和反应机理进行了综合分析,对热解氮化硼的相关性能和应用作了介绍及对制备工艺、沉积机理研究中的一些问题提出了研究思路。
会议名称: 第八届全国新型炭材料学术研讨会
KOS主题词: chemical vapor deposition, CVD;  Reaction mechanism
会议文集: 第八届全国新型炭材料学术研讨会论文集
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许力,白朔,吴峻峰,等. 热解氮化硼[C]. 第八届全国新型炭材料学术研讨会论文集.2007.
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