| 摘要 | 激活的Ag-Mg合金作为优良的二次电子发射材料,具有高的二次电子发射系数,可以承受大的电流密度,发射稳定等优点,在光电倍增管、电子倍增器等器件中有着广泛的应用。激活处理的目的是在合金表面形成二次电子发射性能优异的MgO层,表面的氧化镁层决定激活的Ag-Mg合金的二次电子发射性能优劣[1,2]。激活处理就是在高温下,特定的氧气压力下,将合金氧化处理特定的时间,主要工艺参数是氧化温度、氧化时间和氧气压力。通过合理设定和控制这三个工艺参数,使合金表面生成一层不含银的氧化物及其它杂质,厚度适当,接近化学计量比的MgO二次电子发射层。本文研究了600°C、550°C、500°C、400℃下激活的Ag-Mg合金二次电子发射体的发射特性,以及影响二次电子发射特性的因素。实验采用Ag3Mg合金带材制备样品,样品在自建合金型二次电子发射材料激活装置中激活,利用自建二次电子发射系数测试设备测量了激活之后样品的二次电子发射系数,采用XPS、SEM等手段分析观察了激活的Ag-Mg合金表面成分变化和表面微观形貌,讨论了成分、形貌结构与发射性能的关系。研究发现,通过高温控压激活处理合金表面形成了一层接近化学计量比的MgO层,随着激活温度的升高Ag-Mg合金表面氧化层厚度逐渐增大,表面颗粒逐渐变大,表面质量逐渐变差。在550℃下激活的Ag-Mg合金表面质量较好,氧化层厚度适中,具有最优的二次电子发射特性。 |
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