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3DIC封装中铜柱凸点和硅通孔互连的可靠性
马会财
学位类型博士
导师尚建库 郭敬东
2017
语种中文
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/78434
专题中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
马会财. 3DIC封装中铜柱凸点和硅通孔互连的可靠性[D],2017.
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