| 一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 | |
| 姜辛; 刘鲁生; 黄楠; 杨兵; 翟超峰; 李俊豪; 贾心怡 | |
| 2017-02-15 | |
| 专利权人 | 中国科学院金属研究所 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 专利号 | 201620932071.X |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/79799 |
| 专题 | 中国科学院金属研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜辛,刘鲁生,黄楠,等. 一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置. 201620932071.X[P]. 2017-02-15. |
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