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表面二氧化钛对三氧化钨薄膜电致变色性能的影响
王美涵; 陈昀; 雷浩; 黄奕博; 文哲; 马佳玉
2019-10-15
发表期刊沈阳大学学报(自然科学版)
卷号31期号:05页码:355-361
摘要采用直流反应磁控溅射法在透明导电ITO玻璃上先沉积三氧化钨(WO_3)薄膜,然后在其表面沉积二氧化钛(TiO_2).利用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)考察薄膜表面断面形貌、晶体结构和化学组成.利用紫外-可见-近红外分光光度计和电化学工作站测试薄膜的透射率、循环伏安和计时电流特性,分析其电致变色光学调制幅度和着色效率.结果表明沉积TiO_2后,薄膜仍为无定型结构,表面形貌无明显变化,也未出现分层现象.薄膜表面成分为TiO_2和WO_3.与纯WO_3薄膜相比,表面沉积TiO_2后降低了离子注入/脱出扩散速率,导致薄膜着色效率下降.但在驱动电压±1.2 V范围内,表现出较好的着/褪色循环稳定性,说明表面上的TiO_2可有效地抑制WO_3薄膜性能衰减,对薄膜表面起到保护作用.
关键词三氧化钨 薄膜 二氧化钛 磁控溅射 电致变色性能
学科门类TB383.2
语种中文
WOS类目TB383.2
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.imr.ac.cn/handle/321006/80252
专题中国科学院金属研究所
作者单位1.沈阳大学机械工程学院
2.中国科学院金属研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王美涵,陈昀,雷浩,等. 表面二氧化钛对三氧化钨薄膜电致变色性能的影响[J]. 沈阳大学学报(自然科学版),2019,31(05):355-361.
APA 王美涵,陈昀,雷浩,黄奕博,文哲,&马佳玉.(2019).表面二氧化钛对三氧化钨薄膜电致变色性能的影响.沈阳大学学报(自然科学版),31(05),355-361.
MLA 王美涵,et al."表面二氧化钛对三氧化钨薄膜电致变色性能的影响".沈阳大学学报(自然科学版) 31.05(2019):355-361.
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