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直流反应溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜 会议论文
《真空科学与技术》/Vol.22 2002增刊, 北京, 2001-10-16
作者:  陆峰;  徐成海;  裴志亮;  闻立时
收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2013/08/21
导电薄膜  磁控溅射法  制备方法  光学性能